Samsung, Intel и SK Hynix инвестировали в нано-производство Reno Sub-Systems для чипов
03.10.17Samsung, Intel и SK Hynix инвестировали в нано-производство компании Reno Sub-Systems. Она занимается созданием устройства согласования для управления плазменной дугой в системах проекции для литографического производства полупроводников. Также Reno Sub-Systems разрабатывает и выпускает генераторы мощности для работы с плазмой (RF power generators) и системы подачи газа, в среде которого зажигается и работает плазменная дуга.
Типичный вакуумный подстраиваемый конденсатор
Инженеры Reno Sub-Systems разработали уникальный твердотельный переменный конденсатор Electronically Variable Capacitor (EVC) с перестройкой ёмкости за 10 мкс и автоподстройкой менее 500 мкс. Именно эта разработка позволила создать передовые системы подстройки для работы с плазмой в современных и будущих литографических сканерах.
Полупроводниковый подстраиваемый конденсатор Reno Sub-Systems
Все перечисленные выше направления нужны для стабильной работы литографических сканеров при производстве 14-нм чипов, будущих 7-нм и с меньшими нормами производства. Передовые сканеры оперируют слоями напыления толщиной в один атом. Любая нестабильность или рассогласование приведёт к росту уровня брака. Системы Reno Sub-Systems обещают высокую скорость реакции блока управления плазмой и достаточно компактны для встраивания в сканеры.
Не пропустите интересное!
Підписывайтесь на наши каналы и читайте анонсы хай-тек новостей, тестов и обзоров в удобном формате!
Обзор смартфона Oppo A6 Pro: амбициозный
0 
Новый смартфон Oppo A6 Pro — телефон среднего уровня с функциональностью смартфонов премиум-класса. Производитель наделил его множеством характеристик, присущих более дорогим телефонам. Но не обошлось и без компромиссов. Как именно сбалансирован Oppo A6 Pro – расскажем в обзоре.
One UI 8.5: новая жизнь старых смартфонов Samsung — что даёт обновление?
0 
One UI 8.5 приносит старым Samsung Galaxy функции, которые ещё недавно были эксклюзивом новых флагманов. Но действительно ли обновление способно сделать Galaxy S22, S23 и S24 ближе к уровню Galaxy S26? Разбираемся, что меняется после установки прошивки.
Отель с роботами откроется в Китае на искусственном острове
Китай готовится открыть футуристический гостиничный комплекс под управлением роботов и физического искусственного интеллекта. Вся работа — от ресепшена до ресторанной кухни — будет выполняться автономными устройствами Pudu Robotics.
ChatGPT не виноват: кризис академической честности
Согласно новым исследованиям, 47% старшекурсников Гарварда признались в нарушении правил академической честности.