Samsung, Intel и SK Hynix инвестировали в нано-производство Reno Sub-Systems для чипов

Samsung, Intel и SK Hynix инвестировали в нано-производство компании Reno Sub-Systems. Она занимается созданием устройства согласования для управления плазменной дугой в системах проекции для литографического производства полупроводников. Также Reno Sub-Systems разрабатывает и выпускает генераторы мощности для работы с плазмой (RF power generators) и системы подачи газа, в среде которого зажигается и работает плазменная дуга.

Reno Sub-Systems 1

Типичный вакуумный подстраиваемый конденсатор

Инженеры Reno Sub-Systems разработали уникальный твердотельный переменный конденсатор Electronically Variable Capacitor (EVC) с перестройкой ёмкости за 10 мкс и автоподстройкой менее 500 мкс. Именно эта разработка позволила создать передовые системы подстройки для работы с плазмой в современных и будущих литографических сканерах.

Полупроводниковый подстраиваемый конденсатор Reno Sub-Systems

Полупроводниковый подстраиваемый конденсатор Reno Sub-Systems

Все перечисленные выше направления нужны  для стабильной работы литографических сканеров при производстве 14-нм чипов, будущих 7-нм и с меньшими нормами производства. Передовые сканеры оперируют слоями напыления толщиной в один атом. Любая нестабильность или рассогласование приведёт к росту уровня брака. Системы Reno Sub-Systems обещают высокую скорость реакции блока управления плазмой и достаточно компактны для встраивания в сканеры.


Не пропустите интересное!

Підписывайтесь на наши каналы и читайте анонсы хай-тек новостей, тестов и обзоров в удобном формате!

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *





Статьи & тестыArticles

Обзор смартфона Oppo A6 Pro: амбициозный Oppo A6 Pro (CPH2799)

Новый смартфон Oppo A6 Pro — телефон среднего уровня с функциональностью смартфонов премиум-класса. Производитель наделил его множеством характеристик, присущих более дорогим телефонам. Но не обошлось и без компромиссов. Как именно сбалансирован Oppo A6 Pro – расскажем в обзоре.


Обзор смартфона Oppo Reno16 Pro 5G: обстоятельно Oppo Reno16 Pro 5G (CPH2863)

Oppo Reno16 Pro 5G выглядит сбалансированным смартфоном, в котором производитель постарался не делать единственную характеристику определяющей. Преимуществ у него много. Расскажем какие


НовостиNews
| 10.29
Сделано в Германии: оправдывает ли Gigaset GS6 Pro свою репутацию?

Смартфон Gigaset GS6 Pro делает ставку на немецкую сборку и ремонтопригодность. Мы разбираемся, что скрывается за этим статусом и стоит ли устройство своих денег на фоне конкурентов.

| 09.09
Hugging Face Microduck: очаровательный робот-утка с ИИ

Компания Hugging Face представила компактного робота Microduck, созданного для обучения трюкам с помощью ИИ.